改訂版　はじめての半導体ドライエッチング技術 [ 野尻一男 ]

著者野尻一男(著)出版社技術評論社発売日2020年11月ISBN9784297115999ページ数188Pキーワードはじめてのはんどうたいどらいえつちんぐぎじゆつげん ハジメテノハンドウタイドライエツチングギジユツゲン のじり かずお ノジリ カズオ9784297115999内容紹介「はじめての半導体ドライエッチング技術」 が出版 されてから 8年以上経過しましたが、半導体 の微細化
・高集積化の進展は留まるところを知らず、次々新しい技術が出現しています。本書は、アトミックレイヤーエッチング（ALE）など新しい技術の解説や、ドライエッチング技術の今後の課題
・展望についてなど、旧版に大幅に加筆訂正を行いました。

※本データはこの商品が発売された時点の情報です。目次1章 半導体集積回路の発展とドライエッチング技術/2章 ドライエッチングのメカニズム/3章 各種材料のエッチング/4章 ドライエッチング装置/5章 ドライエッチングダメージ/6章 新しいエッチング技術/7章 アトミックレイヤーエッチング（ALE）/8章 ドライエッチング技術の今後の課題と展望